GB_T43772-2024电子气体二氧化碳.docx

ICS31.030CCS1.90中华人民共和国国家标准GB/T437722024电子气体二氧化碳Electronicgas-Carbondioxide2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。本文件起草单位：河南心连心深冷能源股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江泓芯半导体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、浙江海畅气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、重庆瑞信气体有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、大连华邦化学有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、重庆同辉气体有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、深圳高发气体股份有限公司、上海启元气体发展有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学有限公司、杭氧集团股份有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、大连中汇达科学仪器有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、四川高精检测服务有限公司、中国计量测试学会、北京睿信捷环保科技有限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、西南化工研究设计院有限公司。本文件主要起草人：崔增涛、御、朱明、银延蛟、兰锋、吴慧明、胡迎、郑秋艳、苏子杰、蔡金、林定标、陈施华、孙福楠、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、禹金龙、江月军、牛艳东、刘丽娜、侯鹏、钱吉、刘清辉、郭静楠、袁有录、杜大艳、曹小林、方强、黄加斗、王小波、尹爱华、徐汝峰、俞俊、曹益宁、张学媛、王子源、金雪光、刘尚进、韩帅、殷吴、张薇薇、马彬淇、刘峰、石唯、方华、王见见、何波、唐中伟、王云龙、黄辉、赵跃、尚柏羊、史婉君、常侠、边鲁宁、胡树国、张体强、高艳秋、李春华、崔贺民、宫兵、贾任远、趣杰、周鑫、敖科、杨扬仲夫、赵洁、邵成刚、张艺山、王晶、周鹏云、唐霞梅。电子气体二氧化碳1范围本文件规定了二氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5275.7气体分析动态体积法制备校准用混合气体第7部分：热式质量流量控制器GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T11446.1电子级水GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB15603危险化学品仓库储存通则GB/T16804气瓶警示标签GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T28726GB/T28727GB/T33145GB/T34972GB/T43306TSGROOO5气体分析氮离子化气相色谱法气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法大容积钢质无缝气瓶电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法气体分析采样导则移动式压力容器安全技术监察规程TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求二氧化碳的技术要求应符合表1的规定。离子及金属元素的要求宜符合表2、表3的规定，也可供需双方协商，«1技术要求项目指标二氧化碳（CO2）纯度（摩尔分数）/10-2云99.999299.9995氢（%）含量（摩尔分数）/10-6<1.0<0.5（氧十编;）（Oz+Ar）含量（摩尔分数）/10-6<2.0<1.0氮（电）含量（摩尔分数）/10-6<5.0<3.0一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/10-6<1.0<0.5甲烷（CH）含量（摩尔分数）106<1.0<0.5非甲烷总嫌（以甲烷计）含量（摩尔分数）/10-<4.0<2.0总硫（以硫计）含量（摩尔分数）/10-6<0.01<0.01一氧化氮（NO）含量（摩尔分数）/10-6<0.25<0.25二氧化氮（No2）（摩尔分数）/10-6<0.25<0.25水分（a0）含量（摩尔分数）106<3.0<0.5杂质总含量（摩尔分数）106WIo5.0氨（NH3）含量（摩尔分数）106供需协商供需协商赛2离子技术要求项目名称指标铉根离子（NH4+）含量（质量分数）10°5筑离子（F-）含量（质量分数）/10-91氯离子（C1-）含量（质量分数）/10-°5滨离子（Br'）含量（质量分数）1091亚硝酸根离子（NO2-）含量（质量分数）105硝酸根离子（NO3）含量（质量分数）1095硫酸根离子（SO4）含量（质量分数）1095甲酸根离子（HCOO'）含量（质量分数）/10-95乙酸根离子（CH2COO'）含量（质量分数）/10-95表3金属元素技术要求项目名称指标铝（AD含量（质量分数）/10-°1钙（Ca）含量（质量分数）/10-91钻（CO）含量（质量分数）/10-91铭（Cr）含量（质量分数）/10-1表3金属元素技术要求（续）项目名称指标铜（CU）含量（质量分数）/10-°1铁（Fe）含量（质量分数）/10-91锌（Zn）含量（质量分数）/10-9WI铝（M。）含量（质量分数）/101钾（K）含量（质量分数）/10-91镁（Mg）含量（质量分数）/10-1钠（Na）含量（质量分数）1（91镰（Ni）含量（质量分数）1091钛（Ti）含量（质量分数）109Wl鸽（W）含量（质量分数）10°1镭（Mn）含量（质量分数）/10-15采样二氧化碳的采样应符合GB/T43306的规定。6试验方法警示一本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。6.1 二氧化碳纯度6.1.1 杂质总含量杂质总含量按公式（1）计算：xn=x+x2+X3+×4+X5+xg÷x7+xg+xg+xio（1）式中：Xi氢含量（摩尔分数），;X2（氧+氤）含量（摩尔分数;Xa氮含量（摩尔分数），10-°X4一一氧化碳含量（摩尔分数），1。-°；xg甲烷含量（摩尔分数xg非甲烷总燃含量（摩尔分数;X7总硫含量（摩尔分数），10-6;xg氧化氮含量（摩尔分数），105;xg一一二氧化氮含量（摩尔分数），IO.xto水分含量（摩尔分数）,IO-6；Xn杂质总含量（摩尔分数），10-6。6.1.2 二叙化碳纯度二氧化碳纯度按公式计算：X=100-XnxlO-1(2)式中：X二氧化碳纯度(摩尔分数)，10,。62氢、氨、触T化三fi¾S½6.2.1测定方法按GB/T28726规定的切割进样的方法测定二氧化碳中氢、氧+氧、氮、甲烷、一氧化碳含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。6.22预分离柱长约0.6m,内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的改性碳分子筛，或其他等效色谱柱。6.2.3色谱柱长约2m,内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。6.24)tS组分含量的摩尔分数为(l5)X10。，平衡气为氮气。6.3非甲烷总煌含量的测定6.3.1梃方法按GB/T8984规定方法测定的二氧化碳中总燃含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。1.1.1 谱柱长约3m、内径3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的硅烷化玻璃微球载体，或其他等效色谱柱。1.1.3 标准样品甲烷含量的摩尔分数为(15)XIOT平衡气为氮气。624计算非甲烷总燃含量按公式(3)计算：xs=xl2x5(3)式中：XiZ总燃含量(摩尔分数)，10-2。1.1.5 气路流程示意图及典型色谱图参考的气路流程示意图及典型色谱图见附录A。6.4 总硫含量的海定6.4.1 测定方法按GB/T28727规定的方法测定二氧化碳中总硫含量。可采用其他等效的方法测定二氧化碳中总硫含量。当测定结果有异议时，以GB/T28727规定的方法为仲裁方法。6.4.2 预分离柱柱长约4m、内径3mm的不锈钢柱，内装高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物)，或其他等效色谱柱。643色谱柱柱长约3m、内径3mm的不锈钢柱，内装硅烷化玻璃微球载体。或其他等效色谱柱。6.4.4 气路流程示意图参考的气路流程图见附录A。6.4.5 标准样品谈基硫含量的摩尔分数为(15)X10。，平衡气为氮气。6.5 一化氮及二叙化氯含量的测定6.5.1 仪器采用配备相应气体池的傅立叶红外光谱仪测定二氧化碳中的一氧化氮及二氧化氮含量。检测限：0.1XlOY摩尔分数)。6.5.2 雕我6.5.21 参考的涌定条件参考的测定条件：-一氧化氮特征峰波数：(18261837)cm-;二氧化氮特征峰波数：(28402940)cm； 分辨率：(0.5l)cr; 环境温度：1825; 环境相对湿度：60%(>6.5.22 其他测定条件其他测定条件按照仪器说明书执行。6.5.23 剂和材料6.5.3.1气体池：池体材质宜为石英或者不锈钢。6.5.3.2窗片：材质宜为BaFz或KBr。6.5.3.3超纯氮：符合GB/T8979的规定。6.5.4 标准样品6. 5.4.1一氧化氮含量约为1×IO-6（摩尔分数），水分含量低于0.5×IO-6（摩尔分数），平衡气为氮气。7. 5.4.2二氧化氮含量约为IxlO-°（摩尔分数）,平衡气为氮气。6.5.5