旋转式涂覆设备通用规范_SJT11183-2022.docx
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1、ICS31.550CCSL95中华人民共和国电子行业标准SJ111832022代替SJ/T111831998旋转式涂覆设备通用规范Generalspecificationforspincoater2023-01-01 实施2022TO-20发布中华人民共和国工业和信息化部发布要:和 5. 2,1998弋验方法(1. 1和2, 199增加了热盘;增加了设备水平修改了检验项目(见6修改了产品标志(见7.1.1, 1998i.3和&2X,4 和 6*)15);和 6.6);删除了要和 5. 3, 19984. 5 和 5. 4)1998版的5.S98版元和冷盘单元的定义(见第(见1998版的第4章)
2、;5. 1):.2):119 5. 11.要求改为了真空吸附承片台真空要求(见4. 7. 5,上求(见 4. 7. 6, 1998 版的 5.11.6);法(见1998版的5.护与气保护气欠压保险方法(尘要J的转i其试验方法(见1998版的5.11. 8+覆设备、旋转涂式涂覆单 勺第3章);5. 11.5);.9、5.6. 8 和 5.6.9);三LX.-A刖百本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替SJrr111831998匀胶设备通用规范,与SJb111831998相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:修改了标准的范围(更新
3、了引用文件修改了基片才元、预请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SACrrC203)提出并归口.本文件起草单位:沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院.本文件主要起草人:宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬。本文件所代替标准的历次版本发布情况为:SJ31931989;SJZT111831998.旋转式涂覆设备通用规范1范围本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体彳设备(以下简称设备)。第1分、码规则章时间的验证试小猱爨攀的引用文件,其
4、通用技颜色器和操失效率与IrX01() 198油气安全桶i识别招酶DO8-20081标牌半导体材料术语面标志标识的基本和安全规则藏冷恒定失效率假类工效学工作岗位尺寸设计原则及其安全设计通则风险评估与风和设备发射的暝200820082规范性引用文件下列文件询 仅该日期对摩供 文件。GBmGB GB 验方案GBI5 GBGB GBGB/T GB/T GB/T GB/T GB/T157017248.量现场简易法GB/T 25915.12010GB/T 29845 2013 半导体制SJ/T 1552电子工业专用设备机械装配技术要求SJ/T 1635电子工业管路的基本识别色和识别符号SJ 20385A
5、-2008军用电子设备电气装配技术要求,注日期的引用文件, 修改单)适用于本利指定位置发射声压级的测巴洁净度等级、运输、拆包及安放导则3术语和定义GB142642009界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1晶片slice半导体工艺中的晶片,从半导体晶体切取的具有平行平面的薄片。来源:GB/T142642009,3.2233.2旋转式涂覆spincoating在高速旋转下,利用离心力和液体表面张力使胶液均匀地涂覆在晶片上的工艺过程。3.3旋转式涂覆设备spincoater用于完成光刻胶或其他胶侦液体的涂覆工艺以及烘烤工艺的设备。3.4旋转式涂覆单元spincoatingunit完成旋转式涂
6、覆工艺过程的工艺单元。3.5预处理单元adhesionunit在旋转式涂覆前预涂增粘剂并进行烘烤以增强晶片和光刻胶附着力的工艺单元.3.6热盘单元hotplateunit对晶片进行烘烤并使光刻胶固化的工艺单元.3.7冷盘单元Chillplateunit对晶片进行冷却处理的工艺单元。3.8承片台chuck用于承载晶片,并利用真空或机械夹持机构固定晶片,带动晶片同步旋转的部件。4要求4.1 使用条件4.1.1 作业环境设备应在黄光洁净室内进行旋转式涂覆工艺制程的生产作业,洁净室应符合下列条件:a)洁净度:优于GB/T25915.1-2010规定的ISO6级要求;b)环境温度:20oC25P:c)相
7、对湿度:40%60%.4.1.2 电力条件电源应符合GB5226.12008中4.3.2的规定,额定电压为380V38V(三相)或220V22V(单相),频率为50HzlHz.4.1.3 供气条件设备所用气源应符合表1中的规定。444444444设备所用循环冷却水和去离子水应符合表2虫的规定。序号其它要求0. 15 MPa-0. 3 MPa与进口压力差20. 1 MPa去a0. 35 MPa2的图样及制造。灯的颜色A清睁J按钮管夹固定。设均匀,表面不得有较明显显示屏、仪表、开关等面板上的元器件应布置合理,方便操作.整机标识、铭牌、说明牌、指示牌等应放置在明显位置,便于观看和识别。2222222
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