天科合达 液相法.docx

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天科合达液相法液相法是一种先进的碳化硅晶体制备技术，有望成为未来发展趋势。天科合达是一家全球领先的第三代半导体公司，他们在2022年底成功研发了4寸碳化硅，采用的正是这种新一代液相法技术。此外,天科合达也是全球唯一一家同时掌握物理气相传输法和液相法两种先进工艺技术的公司，其技术水平已达到国际先进水平，良率上目前与全球排名第一的Cree公司相当。在生产方面，他们成功研发的8寸衬底已经实现量产，未来计划提供给SBD客户批量产品。与此同时，他们还正在进行大尺寸碳化硅衬底产业化基地的建设。据报告，他们的生长技术能够持续稳定地生长出高质量和大尺寸的碳化硅晶体。总的来说，天科合达公司在碳化硅晶体制备技术上的成绩显著，无论是在研发、生产还是市场布局方面都表现突出。