2023年度长三角科技创新共同体联合攻关重大创新指南.docx
《2023年度长三角科技创新共同体联合攻关重大创新指南.docx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《2023年度长三角科技创新共同体联合攻关重大创新指南.docx(4页珍藏版)》请在优知文库上搜索。
1、附件2023年度长三角科技创新共同体联合攻关重大创新指南(国科管平台登录可见)(一)集成电路领域1.12英寸硅片最终抛光设备的研制及应用研究内容:研究抛头柔性均匀加压技术,实现抛光过程硅片和加工机台处于同一水平面、硅片均匀性加压、硅片边缘和中心部压力分别可控的目标;研究抛光大盘平面度保障技术,防止机械外力锁死引起零件微量变形,设置散热结构,控制抛光大盘温升,考量抛光盘本身线膨胀系数,控制大盘形貌变化量;研究硅片加工过程中光点缺陷和金属污染控制方法,确保设备本身的洁净度;研究硅片贴附和剥离技术,确保贴附可靠性与可剥离性。2 .第三代半导体材料生长装备及核心部件研发研究内容:面向新型显示、微波通信
2、、航空航天、能源互联网等重大战略和产业应用,对更高能效、更高可靠性光电子、电力电子器件的需求,研制更高性能的第三代半导体材料生长装备系统,开发特殊设计和功能的真空互联外延生长系统,集材料生长、原位检测、测试等功能,实现核心零部件的自主研制,制备出更高性能的材料,形成新型光电子及电力电子原型器件制备能力,在第三代半导体材料制备方面实现重大突破和应用。3 .面向海洋湖泊监测的高性能微型化MEMS压电水声传感器关键技术研究研究内容:突破传统水听器尺寸大、成本高、能耗大、一致性较差的瓶颈限制,发展利用半导体MEMS压电薄膜和结构开发技术,结合面向应用的系统设计与电路优化,实现高性能单片、低成本、低功耗
3、、高一致性的新型MEMS水声传感芯片与模组,为下一代高性能阵列化水声系统提供核心元器件的理论与技术支撑,为我国渔业开发、科研探索和建设海洋强国实现高性能MEMS水声传感器的全国产化开发。(二)人工智能领域1 .认知大模型通用能力关键技术研究及多行业场景应用研究内容:围绕当前认知大模型事实类知识问答“张冠李戴”、行业应用结合难等问题,研究大模型认知涌现机理,建立具备情境感知学习和自反思认知计算方案;研究知识驱动的新型人工智能理论和方法,包括知识融入的预训练、知识数据双驱动的决策推理、知识表示与推理框架,实现包括文本、图片、音频等多模态知识的融合;研究多模态多维度的基础模型评测基准及评测方法,建立
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 2023 年度 长三角 科技 创新 共同体 联合 攻关 重大 指南