暖通空调洁净室通风设计.docx
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1、暖通空调洁净室通风设计1、局部排风各种电子产品生产过程不可避免地将会有各类粉尘、有害气体、有害物质的排出,防止它们在洁净室内扩散、污染的有效方法是在相关设备处采取局部排风方式经处理达标后排至室外。对于如下情况的局排系统应独立设置。排风介质混合后能产生加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性;排风介质中有毒与无毒,毒性相差很大;易燃、易爆与一般排风;洁净室排风系统设计时,应采取下列技术措施。为防止室外的气流倒灌流入室内,引起污染和积尘,常用防倒灌措施:设置中效过滤器;采用止回阀,使用方便但密封性较差;(3)采用密闭阀、密封性好,但结构复杂;采用自控装置等。含有易燃、易爆局部排风系统应采用与排出物质相适应
2、的防火、防爆措施。排风介质中有害浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时应进行无害化处理,达标后才能排入大气。对含有水蒸汽和凝结性物质的排风系统,应设坡度及排放口,以即时排除凝结液。洁净厂房内的换鞋、存外衣、盥洗、厕所和沐浴等生产辅助房间,应采取通风措施,其室内的静压值,应低于洁净区。洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关,手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。一般对于有可能散发有害气体或易燃易爆气体的洁净室(区)应设事故排风装置。排风系统的设备、管道和附件的制作材料、保温材料、涂料,应根据排出的气体性质、状态等条件选用合适的
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