MEMS传感器行业深度分析报告：监管政策、市场状况、未来趋势、主要企业.docx

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1、MEMS传感器行业深度分析报告（监管政策、市场状况、未来趋势、主要企业）2023年6月扫码关注“快慢思考”公众号 获取更多深度报告oo二微信搜一搜Q快慢思考I淘宝扫一扫关注店铺I尊享原创写作服务“光线写作社”手机海宝扫一扫调研报告方案文案述职报告中报立项工作总结稿件润色专业团队精益求精一、行业主管部门、监管体制及法规政策51、行业主管部门及行业监管体制5(1)工业和信息化部5(2)中国半导体行业协会及其下属MEMS分会52、行业主要法律法规和政策5二、MEMS行业概况71、MEMS行业概述7(1) MEMS技术概述7(2) MEMS行业发展历程7(3) MEMS行41(的产lie链82、MEM

2、S行业市场现状8(1)全球市场现状8(2)国内市场现状93、MEMS产品类型与市场结构10(1)MEMS传感器和MEMS执行器的比较11(2)不同类型MEMS传感器的比较11(3) MEMS传感器的工作原理12(4) MEMS传感器行业的产品结构12(5) EMS惯性传感器细分行业发展情况及市场规模131、MEMS陀螺仪的发展情况13(1)陀螺仪的发展历史13(2)不同类型陀螺仪的应用情况及发展趋势142、MEMS加速度计163、MEMS惯性系统164、行业的产业链上下游情况及作用17(1)惯性导航17(2)惯性测量18(3)惯性稳控185、MEMS惯性传感器市场19(1)全球市场19(2)国

3、内市场196、高性能MEMS惯性传感器行业状况、技术水平及市场竞争情况20(1)高性能MEMS惯性传感器行业状况、市场竞争情况20(2)高性能MEMS惯性传感器行业技术水平情况217、MEMS惯性传感器应用领域23(1)无人系统23(2)自动驾驶25(3)测量测绘26(4)通信-动中通26(5)工业物联网27(6)资源勘探27(7)高速铁路28(8)高可靠298、MEMS产品在不同下游应用领域的市场空间、竞争格局及核心技术壁垒.309、高性能MEMS惯性传感器行业的周期性32四、MEMS传感器行业的新技术、新产业、新业态、新模式发展情况和未来发展趋势321、MEMS行业发展需要更精准可靠的传感

4、器322、MEMS传感器微型化、集成化的发展趋势323、多传感器融合与协同334、应用场景多元化，行业规模不断扩大33五、行业主要企业情况331、国际主要企业332、境内主要企业34一、行业主管部门、监管体制及法规政策1、行业主管部门及行业监管体制行业由工业和信息化部进行宏观管理和政策指导，中国半导体行业协会（CSIA）及其下属的MEMS分会是本行业的自律监管机构。（1）工业和信息化部工业和信息化部主要职责是拟订实施行业规划、产业政策和标准，监测工业行业日常运行，推动重大技术装备发展和自主创新，管理通信业，指导推进信息化建设，协调维护国家信息安全，对行业的发展方向进行宏观调控。（2）中国半导体

5、行业协会及其下属MEMS分会中国半导体行业协会及其下属MEMS分会是行业的行业自律组织。其主要职责是贯彻落实政府制定的相关法律法规和政策，开展产业及市场研究，向政府业务主管部门提出本行业发展政策的咨询意见和建议，组织订立行规行约，推动市场机制的建立和完善。2、行业主要法律法规和政策电子元器件是支撑信息技术产业发展的基石，也是保障产业链供应安全稳定的关键。国家相继出台了一系列法律法规、规划纲要及产业鼓励政策促进行业快速发展。具体如下:序号发布时间发布单位政策名称相关内容12021年全国人大中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要在事关国家安全和发展全局的基础核心领

6、域，制定实施战略性科学计划和科学工程。瞄准人工智能、量子信息、集成电路、生命健康、脑科学、生物育种、空天科技、深地深海等前沿领域。其中集成电路部分包含微机电系统（MEMS）等特色工艺突破22021年工信部基础电子元器件产业发展行动计划（2021-2023年）实施重点产品高端提升行动，面向电路类元器件等重点产品，突破制约行业发展的专利、技术壁垒，补足电子元器件发展短板，保障产业链供应链安全稳定。传感类元器件方面，重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型MEMS传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件32020年国务院新时期

7、促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策大力支持符合条件的集成电路企业和软件企业在境内外上市融资，加快境内上市审核流程，符合企业会计准则相关条件的研发支出可作资本化处理。鼓励支持符合条件的企业在科创板、创业板上市融资，通畅相关企业原始股东的退出渠道。通过不同层次的资本市场为不同发展阶段的集成电路企业和软件企业提供股权融资、股权转让等服务，拓展直接融资渠道，提高直接融资比重42019年发改委产业结构调整指导目录（2019）将集成电路设计、集成电路装备制造、半导体材料等半导体相关项目列入鼓励类项目52018年统计局战略性新兴产业分类（2018）“3.4.3.1半导体晶体制造”章节内提出将半导体

8、晶体制造新增入战略性新兴产业中62018年财政部、税务总局、发改委、工信部关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知减免集成电路生产企业的企业所得税，且集成电路企业技术越高、投资额越大，所获得的所得税减免力度也越大72017年工信部信息产业发展指南基础电子产业将优先发展基于重要整机需求和夯实自身根基等目标的相关领域，包括新型传感器及技术、关键电子元器件特别是光电子器件及技术等82016年国务院“十三五”国家科技创新规划开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、MEMS（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发，提升新兴领域核心装备自主

9、研发能力92015年国务院中国制造2025组织研发具有深度感知、智慧决策、自动执行功能的高档数控机床、工业机器人、增材制造装备等智能制造装备以及智能化生产线，突破新型传感器、智能测量仪表、工业控制系统、伺服电机及驱动器和减速器等智能核心装置，推进工程化和产业化102014年国务院国家集成电路产业发展推进纲要加快云计算、物联网、大数据等新兴领域核心技术研发，开发基于新业态、新应用的信息处理、传感器、新型存储等关键芯片及云操作系统等基础软件，抢占未来产业发展制高点112013年工信部、科技部、财政部、国家标准化管理委员会加快推进传感器及智能化仪器仪表产业发展行动计划传感器及智能化仪器仪表产业整体水

10、平跨入世界先进行列，产业形态实现由“生产型制造”向“服务型制造”的转变二、MEMS行业概况1、MEMS行业概述(1) MEMS技术概述MEMS即微机电系统(MiCrO-EIeCtrO-MeChaniCalSystem),是利用大规模集成电路制造技术和微加工技术，把微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等集成在一片或者多片芯片上的微型器件或系统。MEMS器件种类众多，主要分为MEMS传感器和MEMS执行器。MEMS传感器可以感知和测量物体的特定状态和变化，并按一定规律将被测量的状态和变化转变为电信号或者其它可用信号，MEMS执行器则将控制信号转变为微小机械运动或机械操作

11、。经过40多年的发展，MEMS从实验室走向实用化，已广泛应用于消费电子、汽车、工业与通信、医疗健康、高可靠等各个领域。基于MEMS技术的系统设备大大增强了人们与物理世界交互的能力，极大地改变了人们的生活方式。(2) MEMS行业发展历程MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术之一，其诞生和发展是需求牵引和技术推动的综合结果，亦是微电子技术和微机械技术的巧妙结合。MEMS起源可追溯至20世纪50年代。硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究。20世纪70年代末至90年代，安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等汽车行业应用需求增长推动了MEMS行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速

12、度计取得快速发展。1979年ROyIanCe和AngeH研制出压阻式微加速度计，1983年HOneyWen用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片研制出压力传感器。20世纪90年代末至21世纪初，信息技术的兴起和微光学器件的需求推动了MEMS行业发展的第二次浪潮，MEMS惯性传感器与MEMS执行器取得共同发展。MEMS惯性传感器方面，1991年，电容式微加速度计开始被研制，1998年美国DraPer实验室研制出了较早的MEMS陀螺仪。MEMS执行器方面，1994年德州仪器以光学MEMS微镜为基础推出投影仪，21世纪初MEMS喷墨打印头出现。2010年至今，产品应用场景的日益丰富推动了MEMS行业发展的第

13、三次浪潮，如高性能的MEMS陀螺仪在工业仪器、航空、机器人等多方面得到应用。MEMS商业化将MEMS技术从最早的汽车应用领域向航空、工业和消费电子等领域不断扩展。(3) MEMS行业的产业链MEMS产业链一般可分为四个环节：芯片设计、晶圆制造、封装测试以及系统应用。MEMS行业主要有FabIeSS和IDM两种经营模式。采用FabIeSS模式的MEMS企业主要负责MEMS产品的设计与销售，将生产、封装、测试等环节外包。采用IDM模式的国际企业，如博世、意法半导体、亚德诺半导体、霍尼韦尔等，经营范围覆盖了芯片设计、晶圆制造和封装测试等各环节。MEMS产业链如下所示：芯片设计船留制造 封装泅试终端应

14、用消费电子 汽车电子 医疗电子 工业通信高可集应美碟台枳电日月光半导体敏芯股份中芯国际华人科技C-jlitlII；Is一电：，二川-.I博世量法芈0体亚娜诺半导体I座星跑2、MEMS行业市场现状(1)全球市场现状根据YOIe的统计和预测，全球MEMS行业市场规模将从2021年的136亿美元增长到2027年的223亿美元，2021-2027年复合增长率为9.00%。全球MEMS行业市场规模预测（单位：亿美元）24022Q 200 180 160 HO 120 IOO90 60 00201920202021MAE202JE2024EMZ陛ArC271iflftlf汽4I：业Kr?理防航-Vi资料来

15、源：YoleIntelligence,StatusOfMEMSIndustry2022MEMS器件已经被广泛应用于消费电子、汽车、医疗、工业、通信等多个领域。从2021年市场规模来看，消费电子、汽车和工业市场是MEMS行业最大的三个细分市场。2021年MEMS细分行业市场前费电了汽乍I：业医疗国防航人通信资料来源：YoleIntelligence,StatusOfMEMSIndustry2022从全球竞争格局的角度看，目前少数巨头企业占据了全球MEMS行业的主导地位，2021年前十大MEMS厂商市场占比达到了57.94%,市场集中度较高。（2）国内市场现状受益于工业物联网、智能制造、人工智能等战略的实施，加之各级政府加速推