扫描电镜操作规程.docx

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1、扫描电镜操作规程开机操作：1 .开变压器电源2 .开主电源3 .开真空（VACSWl键点亮）4 .开水箱电源5 .开操作系统（右手OPESWl键点亮）6 .开电脑（账户和密码均为SEMUSer）7 .开软件（桌面PjSEM）GUeSt账户，无密码8 .仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初始化样品台，主机上EXCHPoSN灯亮起。9 .推入样品，EXCHPoSN以及HLDR灯亮起10 .开电子枪Maintance-Gun-Starup电源会持续增加FilamentCurrent至2.29ExtractVoltage至3.011 .半个小时后电子枪稳定，SIP-l9E-8,SIP-22

2、E-612 .若真空读数稳定低于至5.0E4后，则可进行实验关机操作：1 .关闭主屏上观察OBSERATIONOFF2 .关电子枪Maintanence-Gun-Shutdown等待FilamentCUrrent慢慢变为03 .打开Camera,确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或退到准备舱4 .关软件操作系统File-exit-exit5 .关闭电脑6 .关闭电镜操作系统（控制台右下方OPESW上0键点击变亮其中I键为开启）7 .关闭真空系统（控制台左下方VACSW。键）8 .关水箱（控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下）9 .5分钟后，关闭主电源（控制台左下方MlANSWo键点亮）10确定备用电源处于工作状态（控制台面上左上方，白色盒子,工作时绿灯亮起，电流超过20UA）IL关闭变压器（机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）