半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目环评报告表.docx

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1、建设项目环境影响报告表（污染影响.）项目名称：半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目建设单位（盖章）:英凌半导体新材料（潍坊）有限公司编制日期:中华人民共和国生态环境部制一、建设项目基本情况建设项目名称半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目项目代码2211-370783-04-01-594895建设单位联系人联系方式建设地点山东省潍坊小寿光小稻田镇王望三村东300米地理坐标（东经1185632.95”,北纬36497.17”）国民经济行业类别C3051技术玻璃制品制造：C3562半导体器件专用设备制造建设项目行业类别57玻璃制造304;玻璃制品制造305中的“特种玻璃制造；其他玻璃制造；玻

2、璃制品制造（电加热的除外；仅切割、打瘠、成型的除外）”70采矿.、冶金、建筑专用设备制造351;化工、木材、非金属加工专用设备制造352;食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造353;印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造354;纺织、服装和皮革加工专用设备制造355;电子和电工机械专用设备制造356；农、林、牧、渔专用机械制造357;医疗仪器设备及器械制造358;环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造359中的“1”建设性质口新建（迁建）改建扩建技术改造建设项目申报情形0首次申报项目不予批准后再次申报项目超五年重新审核项H口重大变动重新报批项目项11审批（核准/备案）部门（选填）寿光市

3、行政审批服务局项目审批（核准/备案）文号（选填）2211-370783-04-01-594895总投资（万元）100OO环保投资（万元）86环保投资占比嘉）0.86施工工期6月是否开工建设0否是：用地（用海）面枳（m2）无（不新增）专项评价设置情况无规划情况稻田镇工业产业园总体规划（2021-2035年）：关于同意设立稻HI镇工业产业园的批受（寿政函202013号）;4关于同意调整稻田镇工业产业园的批复（寿政函202228号）。规划环境影响评价情况环境影响评价文件名称：稻田镇工业产业园总体规划（2021-2035年）环境影响报告书召集审查机关：潍坊市生态环境局寿光分局审查文件名称及文号：关于稻

4、田镇工业产业园总体规划（20212035年）环境影响报告书的审杳意见（寿环审字（2023）23号）规划及规划环境影响评价符合性分析一、规划符合性分析依据（寿政函202228号）批复文件，稻田镇工业产业园设置6个板块:（1）稻田工业园、（2）稻田食品产业园、（3）芳林院村集成装配式房屋及配套设施园区、（4）稻田镇丹河工业聚集区、（5）稻田镇田马工业聚集区、（6）稻田镇建材工业聚集区，本项目位于寿光市稻田镇王里三村东300米，在稻田镇工业产业园“稻田食品产业园”板块内.二、规划环境影响评价符合性分析1、本项目属于C3051技术玻璃制品制造、C3562半导体器件专用设备制造，不在稻田镇工业产业园禁止

5、准入清单内，符合园区产业定位。2、环境准入清单：表1-1寿光市稻田镇工业产业园规划环境准入清单项目措施内容本项目情况符合性项目准入条件(1)入区项目必须符合国家产业政策与园区产业发展规划、产业定位，优先引诳产业结构调整指导目录中的鼓励类项目、有利于促进区域资源深度转化和综合利用、有利于产业链整合延伸、实现产业集群、集聚、集中发展的项目。(2)选界入驻企业时应从产业园的实际情况及规划主导产业、总体布局等方面入手，依照园区产业定位，遵循有利于发展生态产业、构建循环经济虢网体系的原则：禁止高污染、高耗能、高资源消耗和高环境风险项目入区，限制产能过剩项目入区.(3)产业因应实行污染物排放总股控制制度，

6、把二氧化硫、疑氧化物.颗粒物、挥发性有机物等主要污染物排放总fit指标作为建设项目环境影响评价审批的前置条件，实施总量平衡和消减,鼓励通过结构调整、产业升级、循环经济、技术创新和技术改造等措施，减少园区污染物排放总At确保建成后该项H和产业园各类污染物排放总Iit符合总t控制要求.(4)所有入区建设项目必须依法开展环境影响评价，并经有审批权限的环保主管部门批准.对未通过环评审批或不符合法律法规和技术标准的项目，律不得开工建设。对于涉及使用危化品原料的项目必须把环境风险评价作为其项I1.环评的噌要内容，并提出有针对性的环境风险防控指源(5)产业园管理部门应推进区内企业的技术创新和技术改造，采用消

7、洁生产技术及先进技术装备，降低电位产M的能耗、物耗和战少污染物的产生与排放.禁止入园企业采用落后的生产工艺、技术、设备,对于M评预测污染严重、不能稳定达标、危废不能落实安全的处理处置途径的生产项目，坚决禁止进入产业园。(D拟建项目符合国家及地方产业政策、届犷业结构调整指导目录P冲的鼓励类和允许建设项目：(2)拟足项目不属于高污染、高耗能、商资源消耗和高环境风险项目，符合产业园定位；(3)拟建项目排放污染物经环保措施处理后排放G较少无需申请总量：(4)拟建项目正依法开展环境影响评价并经有审批权限的环保主管部门批准，本项目环境风险识别氧气和无水乙酹等风险物i,并提出环境风险防控措施：(5)本项日为

8、半导体晶圆工艺制程关键设备制造，不属于落后产业。符行业准入条件(1)鼓励能流利用效率高，污染物排放收少，投入产出高的项目：采本项目届于4产业结构通符合用环保生产工艺，使用清洁能源，严格按照环保要求处理废水、废气、噪由和固体废物，达到环保规定的污染物排放标准和排放总量要求的项目.符合产业园发展方向和定位的高附加值企业.（2）允许在满足环境容量的前提E.符合国家的产业政策，且寿光市人民政府允许建设的机械制造、塑料、医药及服装纺织、工艺品加工、家具生产项目：废水等主要污染物排放员不憎加的食品加工项目：产能不增加的造纸项目：属于产业园主导产业上、下产业链项目。污染物排放少，经济效益好，对环境影响小的项

9、目，（3）禁止新建电镀、化工以及其它污染严垂、能耗高的项目；涉及-,类或金属污染项目：新增污染物排放的造纸项目：其他“高污染、而耗水、高耗能、冏磁、低产出”的4户项目。整指导目录（2019年本）3鼓励类和允许建设项目,不属于“高污染、高耗水、高耗能、高风险、低产出”的生产项目：蛛、叭噪声和固体废物，达到环保规定的污染物排放标准和排放总量要求。环境准入条件优先准入园区近点引进无污染或低污染、工艺先进、技术创新、规模适中、效益好的项目，严禁生产方式落后、产品质观低劣、环境污染产戒的项目进入园区,优先进入行业应满足：能够提升规划区的内产业结构：能螭适合区域产业发展特点：能塘有效提高资源利用率：有助于

10、形成区域性的产业链：三t入园项目，应按国家“十四五”环保规划要求配符相关环保设施项目.除列出的禁止进入行业外，其他国家产业政策禁止类的行业一律禁止进入园区本项目属于产业结构调整指导目录（2019年本）鼓励类和允许建设项目，不属于“高污染、高耗水、高耗能、高风险、低产出”的生产项目.不属于规划区禁止进入行业和其他国家产业政策禁止类的行业，项目的建设有助于提升规划区产业结构.符合禁止准入禁I上新建国家产业结构调整指导目录冲限制类、淘汰类产业才外商投资产业指导目录P中限制类、禁止类产业。不符合行业准入条件及行业规范条件的.排放异味或高浓度有机废气，且不能有效处置的项目.其他符合性分析1.产业政策符合

11、性分析根据国家发改委第21号令公布的工产业结构调整指导目录（2019年本）3（2021年修订）,本项目石英制品制造属于鼓励类境保护规划、潍坊市“十四五”水生态环境医护规划)3.近岸海域环境侦地目标至J2O25年，海洋生态环境稳中向好，近岸海域水质优良(一、二类)比例达到59.3%左右、劣丫类海水水质面积下降，主要入海河流国控断面实现消劣.(依据：海坊市”I四五”生态环境保护规划、潍坊市“卜四五”海洋生态环境保护规划)-1.土堆环境风险管控底线到2025年，土壤安全利用水平巩固提升，受污染耕地安全利用率完成省卜达目标，小点建设用地安全利用得到有效保障。(依据：彼坊市“卜四五”生态环境保护规划)排

12、放标准要求;厂界噪声符合,工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中2类标准要求.项1：1建成后对冏围环境影响较小.资源利用上线1 .水资源利用上线到2025年，全市年供用水总局控制在24.95亿立方米以内,农业用水比方米中有降。水资源利用效率和效益显著提高，万元国内生产总假用水量较2020年卜降9.98%.万元工业增加值用水量较2020年降低5%.农田灌溉水有效利用系数提高到06645以上,(依据：潍坊市“十四五”水利发展规划报告(2021-2025)2 .他源利用上线严格落实能源消耗总量和强度双控制度，完成省下达的能滁消费总设控制目标e煤发消纽总址压减10%左右，完成省下达

13、的压减煤炭指标0”再生能源消费总量达到600万吨标掂煤，可再生能源电力装机总容量达到1300万千瓦，力争突破1500万千瓦以上。(依据：谶坊内能源发展“十四五”规划、潍坊市可再生能源发展“I四五规划)本项目运营过程中消耗一定的电能、水资源等,项目资源消耗量相对尸区域资源利用量较少，符合资源利用上线要求。符合生态环境潴入清单1.空间布局约束(1)严格执行高耗能、高污染和资源型行业准入条件,提而异味、恶臭行业准入门(2)生产建设项目选址、选线应当避it水上流失Ig点侦防区和苴点治理：无法避让的，应当提高防治标准,优化施工工艺,战少地衣扰动和植被损坏范困，有效控制可能造成的水土流失.(3)从严审批高

14、耗水.Ifii污染物排放、产生有毒有杏污染物的建设项目,对造纸、化工、化纤、印染,钢铁、焦炭等重点行业以及饮用水源汇水区域等般感区域实行新(改、扩)建项目主要污染物挂放总法然n置换或倍量置换。加强涉水企业管理，禁止无证排污或不按许可证规定排污.(4)全面开展“放乱污”企业及集群综本项目不属于高耗能、芮污染行业；项目用地属于工业用地，符合用地规划；建设项目选址、选线不在水土流失更点预防区和理点治理区内：本项目主要污染物实行排放总量减St置换或倍量置换：本项目不符合合整治行动.列入关停取缔类的，做到“阑断三消；列入整合搬迁类的，按照产业发展规模化、现代化的原则，搬迁至工业园区并实施升级改造：列入升

15、级改造类的，实施消洁生产技术改造。(5)严格落实排污许可制度。影里集中厂区污水处理设施出水挖定达标的纳管企业要限期退出。新建工业企业排放的含重金郁难以生化降解污染物或将盐腹水不揖接入城市生活厂区污水处理设施。6严格落实山东省化工产业安全生产转型升级专项行动总体方案要求，对进区入园企业产格把关，杜绝高旄耗高污染、高风险项目进入化工园区：产把技改项目立项审批关,加强事中事后监管,对违规企业依法予以关停.属于“散乱污”企业。建设项目投入生产前办理排污许可并严格执行.2.污染物排放管控(1)持续推进大气污染源综合整治，深化火电、钢铁、锅炉等m点污染源治理.，强化工业挥发性有机物、异味、黄饮油烟、城市扬尘以及机动乍尾气治理，实施分阶段逐步加严的大气污染物排放标准。(2)加强工业废物处理处置。全面整治粉煤灰、工业副产石膏、冶炼渣以及脱硫、脱硝、除尘产生固体强物的堆存场所.对电子废物、废轮胎、废果料等再生利用活动进行清理整顿，规