曝光机概论培训资料.ppt
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1、CBTCBT曝光機概論曝光機概論Agendal製程概述l製程分類l感光劑種類l光源l對位系統lCBT曝光機l特殊設計lQ&A製程概述壓膜、曝光、顯影曝光原理曝光原理 利用紫外線(UV)的能量,使感光油墨中的光敏物質進行光化學反應,而完成影像轉移的目的。常見PCB曝光所用UV光源(如右圖) ,光源波長365nm 製程分類l內層l外層l防焊感光劑種類l乾膜 l濕膜光源l平行光l非平行光E2100-5KAC (平行光)光路圖上曲鏡下曲鏡下框架下玻璃框下框架上玻璃框上框架鏡碗燈管冷光鏡反射鏡聚焦鏡平行光行走路線1.燈管燈管:點亮後產生5KW之光線,用以曝光之用,燈管之材質為石英玻璃,內部以高壓充填鈍性
2、氣體與水銀,使用高壓放電方式將鈍性氣體與水銀離子化,以點亮燈管。2.鏡碗鏡碗:將燈管所產生之光線,反射後聚集於冷光鏡上,鏡碗之材質為鋁合金,內部為反射光線之鏡面。3.冷光鏡冷光鏡:將鏡碗所聚集之光線,濾除其他光線後,僅反射UV光線於聚焦鏡上,冷光鏡之材質為耐熱玻璃,上面鍍以特殊塗層以反射UV光。4.聚焦鏡聚焦鏡:將冷光鏡所反射之UV光線聚焦與整理後,UV光穿透聚焦鏡射於曲鏡上,聚焦鏡為多點聚焦,藉以整理所射入之UV散射光。5.平面反射鏡平面反射鏡:關閉時,將聚焦鏡所射入之光線,反射到下曲鏡反射面。6.曲鏡曲鏡:將聚焦鏡所射入之光線,平均反射於曝光玻璃之上,上面之曲度可以確實的將射入之光線由小面
3、積之平行光線,轉換成為大面積之平行光線。7.光學玻璃光學玻璃:為PCB與底片之載體,為無色透明之光學玻璃,使用真空方式固定PCB與底片,安裝於上下框架之玻璃框,一組框架共使用兩塊玻璃,機台分為上下框架,可以提昇機台之產速。非平行光金屬鹵素燈金屬鹵素燈金屬鹵素燈的光譜能量金屬鹵素燈的光譜能量與某些質材的吸收光譜與某些質材的吸收光譜十分吻合,能起十分快十分吻合,能起十分快速的硬化反應,能廣泛速的硬化反應,能廣泛地應用於菲林、絲網、地應用於菲林、絲網、PCBPCB、重氮薄膜及板曝、重氮薄膜及板曝光;此外,金屬鹵素燈光;此外,金屬鹵素燈還能應用於不同的印刷還能應用於不同的印刷和表面塗佈工業。和表面塗佈
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