MFC技术知识.docx

《MFC技术知识.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《MFC技术知识.docx（9页珍藏版）》请在优知文库上搜索。

1、适当加温，但MFC的工作环境温度通常不得超过50C。假如用户要MFC的工作环境温度超过65C以上，须要特殊购买高温MFC产品。m质量流量限制器能用于限制腐蚀性气体和特殊气体吗？如何选择密封材料？质量流量限制器可以用于限制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要留意，对于运用腐蚀性气体和特殊气体，须要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，须要向供货厂商特殊声明运用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严峻损失。通常气体质量流量限制器接触工作气体的湿材料为3161.不锈钢、聚四版乙烯和密封材料等，密封材料乂分为金属密封和橡胶密封两大类。金屈密封的材料一般为不锈钢、金或锲等耐腐蚀材料。采纳金属

2、密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三澳化硼、三氯化硼、氨化氢等强腐蚀性气体和MOCVD运用的金属氧化物气体建议最好采纳金属密封的MFCo由于金属密封的MFC价格较高，通常要求不高的场合，均采纳橡胶密封的MFC(I假如不特殊声明，VFC都采纳叙橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体，须要采纳特种橡胶。氨气一一须要采纳耐氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶；质量流量限制器(VFC)除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要留意，运用时也要留意。

3、(4)留意选择合适的精度指标精确度、线性.重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在许多应用场合尤为重要。指标不肯定追求最高，应考虑自己的实际须要。假如对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。(5)留意选择合适的响应时间指标有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求，用户应依据自己的状况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时，还应留意其响应过程及动态特性。(6)留意对安装位置有无要求有的厂家的产品要求必需水平位置安装。(7)留意运用气体和适用范围MFv/AFC对运用的环境及介质温度、气源压力、介质(特殊是运用对腐蚀性气体)状况等均有肯定适用范围，请留

4、意阅读说明书或向厂家询问。(8)留意接头形式通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择，VCR接头性能更好适合于高端应用。（9）订货应注明:产品名称、型号、流量规格、标定气体、运用气体（特殊是腐蚀性气体、接头形式和数量。12 .买质量流量计/质量流量限制器时，还须要买其它配套产品吗？一般须要流量显示仪及之配套运用。流量显示仪为MFM/MFC供应工作电源，进行流量显示，对MFC进行流量设定操作。假如将MFM./MFC干脆和计算机测控系统相连，视状况也可以不配流量显示仪。另外依据系统的须要可以选购截止阀,过滤器.干燥器、单向阀、管接头、减压器、背压阀等。13 .怎样选择流量显示仪？我

5、们的流量显示仪特别丰富，可供用户选择的余地很大。我们有单通道（配接一台MFM/MFC）和多通道（配接多台MFM/MFC）产品：多通道产品中又有共用显示和分别显示之分（前者体积较小，价格稍便宜，但显示需切换；后者体积较大，但显示宜观）：有台式、仪表式、和上架机箱式：有输入输出只能是电压信号的，也有电压和电流信号都行的；多数产品运用沟通220V电源，也有产品可运用沟通IIOV电源:有MFC和MFM都能配的，也有单配MFM的。还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。将流量显示仪安装在机柜上的用户，请留意安装的开孔尺寸14 .怎样选择流量显示单位？我们的流量显示仪一般供应三种流量显示单位，即百分

6、比、SCCM.S1.M0出厂前依据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将MIM/MFC的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50SCCM的MFwMFa当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为100%ft这种方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC,但不直观，有的用户不习惯。按SCCM或S1.M显示，出厂时对流量显示范围及相应的MFM/MFC的量程进行匹配，运用时显示值即是流量值，很直观，符合习惯，为多数用户所采纳。匹配好后，原则上也能接其它量程的MFM/MFC运用，只是显示值须要修正，见卜述有关问题。6肯定要按实际运用气

7、体标定显示吗？不肯定。按实际实际运用气体标定显示，显示的是实际气体的流量，比较直观。但在许多的实际应用场合，只须要找到一个合适的流量参数并保证测量和限制的重复性，至于该气体的实际质量流量是多少，用户并不是特殊关切。在这种状况卜.,您干脆运用厂家的标准出厂产品（氨气标定显示）也可以。当然，如前面所提到的，您在选定流量规格时，须要换算一下，以选择合适的量程。刻于某些用户，同一个产品有时可能会通不同的气体，这种状况卜.，干脆运用氮气标定出厂的产品更便利。16 .怎样进行不同气体的质量流量换算？产品出厂一般是按氮气标定.按氮气流量确定流量规格。用同-规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同

8、时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。假如您运用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而须要知道实际运用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际运用气体的转换系数。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际运用气体的质量流量:反之，在确定所购产品的量程时，以实际运用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、Oz、hCO、HC1.、HF等气体,其转换系数约为1.0,一般可干脆用按氨气标定显示的产品，不必换算。17 .不同气体的流量转换系数是怎样得出来的？混合气体的转换系数如何计算？气体的流量转换系数理论

9、上取决于该气体在标准状态下的密度和比热，以及气体的分子构成系数。常用的单组份气体，其转换系数可在厂家产品技术说明书中查得：假如知道该气体的密度和比热，也可以用卜.面的基本公式计算出来。气体质量流量转换系数C的基本公式：C=O.3106N/p（Cp）其中：P为气体的密度CP一一为气体的定压比热N一一为气体分子构成系数(及该气体分子构成的组份有关，见下表)气体分子构成系数表气棒处子惚成举例N取值用以于介子ArHe1.01双原分CON21.00一.库于加r-f-CO：NO20.94多以于力卜于Nil,CH0.88假如是多组份混合气体(假定由n种气体组成)，按卜列公式计算其转换系数C：、0.3106N

10、1(l,)+N2(,r)+Nn(nr)C=P1Cpl(1/l)+p2Cp2()+pnCp,(nl)为相应气体的流量一一为混合气体的流量R采御嚼)气体的密度(数值见产品而设樱鼐)的定压比热(数值见一一为相成气体的分子构成条数基33中：3P1-P0CPl-CPnN1N11留意：假如混合气体的混合比例不固定，将无法计算出转算系18.MFM/MFC的运用方面有什么留意事项？(1)留意阅读产品说明书及有关资料(2)留意轻拿轻放妥当保管MFM/MFC比较精密，应避开受到撞击和剧烈振动。产品不用时留意放在较好的环境中妥当保管。(3)留意系统设计用户购买MFwMFC后，往往要组建一个系统。建议在系统设计时，不

11、要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的牢靠性、平安性.易操作性、易维护性、易扩充性等因素。以下给出几点具体建议：,留意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC的运用寿命。B.对于反应系统，建议在VFC的出气端加装单向阀，以防止异样状况下反应物倒流损坏MFCoC.对于高压系统，应在MFC的下游加装背压阀(或其它节流装置)及压力表，以便于保证MFC的工作压差。D.对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特殊留意系统的密闭性(检漏时不要忽视减压器)，必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持。E.对于要求比较高的气路系统，留意气路接头尽量削减并采纳VCR等接头。对于运用有害气体的系统，必需严格检

12、漏。气路柜应有排风系统，防止对人员和设备的损伤。F.有高频源的系统应留意屏蔽并特殊留意处理好接地问题，例如采纳单点接地。G.MFV/MFC的安装位置应易于装卸、检测、调零，并平安牢靠。H.对牢靠性要求极高的系统，应留意冗余设计。(4)留意正确运用操作对于比较困难的系统或运用有害气体的系统，应当制定完善的平安操作规程，防止发生误操作。(5)留意运用气体及流量计的密封材料相适应我厂生产的流量计通常采纳的密封材料是叙橡胶，能适合大多数气体的运用，包括HC1.这样的强腐蚀性气体。但对于敏气，必需运用耐氨橡胶：对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必需运用硅橡胶：对于运用三氯化硼、三溪化硼等强腐蚀性介质，

13、必需运用四轴:密封或金属密封的流量计。用户在订货和运用中必需特殊留意。(6)留意定期标定质量流量计原则上应当定期标定。0我能不能自一改MFwMFC的量程？改量程应留意什么？更改MIMMFC量程须要更换分流器阀口等部件，还要进行量程标定，因此用户不能H己更改量程。改量程一般应在生产厂或指定修理站进行。假如您觉得量程没选好，应及供货商和厂家联系。改MBM/MFC量程时，还要留意您的流量显示仪是否也要调整。假如流量是按百分比方式显示的，则显示仪不用改动；假如流量是按SCCM或S1.v显示的，则一般需对流量显示仪进行调整，以适应新的流量量程。也可以不调整流量显示仪，只对流量显示值乘以一个修正系数进行修

14、正：修正系数=新满量程值/原满量程值。改流量显示仪的问题，请细致阅读有关流量显示仪的说明书，假如有改量程的说明，可自己按要求更改。若没有说明，请和厂家联系。20 .模拟式MFC怎样和计算机相连接?计算机可以干脆和MFC相连，也可以通过流量显示仪和MEC相连。对于模拟的VFa一般须要在计算机上配A/D、D/A转换板,模拟/数字转换用于接收流量测量值，数字/模拟转换用于给出0-5VDC流量设定信号，这种转换板在工业限制产品市场上很箍洁买到：假如是MFC干脆及计算机连接，须要用户臼己供应15V电源（要求电源抗干扰实力要强）；将“设定”线接计算机D/A输出：将“流量检测”线接计算机A/D输入端：MFC

15、信号地及计算机信号线连结即可。假如MFC通过流量显示仪及计算机连接，将流量显示仪的“外设”线接计算机D/A输出；将“流量检测T线接计算机A/D输入端：显示仪的信号地及计算机信号线连结即可。当然，另外还须要配相应的软件。21 .数字化质量流量限制器的发展状况如何？有些什么特点？数字化质量流量限制器起源于上世纪八十年头末期，现在在国外，有逐步普及的趋势。在国内，2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。数字化质量流量限制器有两种类型，一种是数字模拟兼容产品，一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采纳及模拟流量计一样的15V电源，输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外，还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时，可以干脆替换模拟式MFC,无需做其它更改。全数字化类型产品通常采纳24VDC单电源，没有模拟输入输出信号，只有现场总线通讯信号。数字化质量流量限制器内置VCU多功能微处理器，可以对采集到的流量信号进行数字化处理，进行温度线性校正，具有比模拟式产品更高的精度和线性性能。数字化的PlD限制功能，能提高稳定性和智能化地变更响应特性。串行通讯，