GB_T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷.docx

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1、ICS71.100.20CCSG86OB中华人民共和家标准GB/T439762024电子气体U!氟甲烷Electronicgas-Tetrafluoromethane2024-04-25发布2024-11-01买施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。本文件起草单位：浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭航集团股份有限公司、中船（邯郸）派瑞

2、特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、大津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、浙江解氏新材料股份有限公司、宿州伊维持新材料有限公司、浙江省标准化研究院、中国计量大学、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、

3、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研窕设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。本文件主要起草人：史婉君、王娟、张琦炎、罗霞、胡迎、付梦月、李企真、朱晓平、王占卫、袁瑞玲、傅铸红、陈艳珊、马建修、陈程、褚人财、李霞、何西、禹金龙、曹素英、何经余、沈琦、郭华轩、王新喜、孙猛、沈益军、潘金平、洪倩、石林、吕博文、万娟秀、朱明、谈益强、刘亮、张朋越、陈洁、吴靓、方华、郑新蕊、何波、黄小强、黄辉、丸肠涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科

4、、高静、赵帅德、马昌宁、周鹏云、文唾川、彭诚。电子气体四氟甲烷1范围本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求，描述了相关的试验方法。本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T5099

5、（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氢离子化气相色谱法GB30000.25化学品分类和标签规范第25部分：特异性靶器官毒性一次接触GB/T33145大容积钢质无缝气瓶TSG07特种设备生产和充装单位许可规则TSG23气瓶安全技术规程TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程3术语和定义GB3

6、0000.25界定的术语和定义适用于本文件。4技术要求1技术要求项目要求四氟甲烷（CF（）纯度（体积分数）/10-2N99.999（氧+敬）（O2+Ar）含量（体积分数）/10-61氮（电）含量（体积分数）/10-64一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-60,1二氧化碳（CO2）含量（体枳分数）1061六氨化疏（SF。）含量（体积分数）/10-65其他卤代化合物含量（体积分数）/10-62水分（HzO）含量（体积分数）/1052酸度（以HF计）含量（质量分数）/10-62056.1.4蛇槽装及槽车装四氟甲烷的抽样、判定对于贮槽装及槽车装四氨甲烷产品，应逐一检验并验收。当检验结果不符合表1规定时，则判该产品不合格。6.2 采样四氟甲烷的采样安全应符合GB/T3723中的规定。6.3 尾气处理测定